Communication Dans Un Congrès
Année : 2003
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00488301
Soumis le : mardi 1 juin 2010-16:46:48
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-15:20:00
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00488301 , version 1
Citer
P. Schiavone, M. Besacier, G. Granet. Efficient simulation of EUV masks using modal methods. Faunhofer IISB Lithography Simulation Workshop, 2003, Hersbruck, Germany. ⟨hal-00488301⟩
Collections
96
Consultations
0
Téléchargements